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SMC工艺气体用元件

发布日期:2021-03-25 浏览次数:22


SMC单向阀、真空发生器、流量开关 AP.jpg


单向阀/真空发生器/流量开关 AP

[单向阀]
・防止背压使流体逆流。
・构造简单,内部的可动零部件仅为O形圈。
・采用无弹簧的构造,可减少因震颤等产生的颗粒,降低下游的压力变动。
[真空发生器]
・真空发生器。
・用于更换气罐时,排出配管中残余的气体。
[流量开关]
・检测配管破裂等造成的过剩流量。

系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AP单向阀SUS316L二次熔炼面密封接头
管子焊接
1/4'',3/8''
AP真空发生器SUS316L面密封接头
管子焊接
1/4'',3/8''
AP流量开关SUS316L二次熔炼
SUS316L
面密封接头
管子焊接
1/2'',3/4''



SMC减压阀(压力调节器) 高纯度工艺气体用 AP、SL、AP、AZ.jpg


减压阀(压力调节器) 高纯度工艺气体用 AP/SL/AP/AZ

・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。
・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。
・接触气体部分经过电解研磨处理。
・外部金属密封构造。

系列形式用途主体材质配管连接配管尺寸
AP/SL一段式管路用(小型)SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
AP/SL一段式管路用SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP/SL一段式大宗气体用SUS316L面密封接头
管焊接
1/2'',3/4'',1''
AP/SL一段式一次侧高压用SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP/SL一段式负压调节SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP二段式一次侧高压用SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
AZ一段式管路用SUS316L面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''
AZ一段式一次侧高压用SUS316L面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''
AZ一段式负压调节SUS316L面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''


SMC隔膜阀 高纯度工艺气体用 AZ.jpg


隔膜阀 高纯度工艺气体用 AZ

・用于精密洗净及洁净室组装。
・全部产品均经过了氦气泄漏检测。
・符合SEMI规格
・采用方便作业的锻造主体。

系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AZ气控型SUS316L面密封接头
管子焊接
1/4''
3/8''
1/2
AZ手动型SUS316L面密封接头
管子焊接
1/4''
3/8''
1/2



SMC减压阀(压力调节器)/背压阀 一般气体用 AK、BP.jpg


减压阀(压力调节器)/背压阀 一般气体用 AK/BP

・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
・主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。

系列型号用途主体材质配管连接配管尺寸
AK一段式气路用SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4'',3/8''
1/2''
AK一段式一次側高压用SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4'',3/8''
1/2''
AK一段式负压调节SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4'',3/8''
1/2''
AK二段式一次側高压用SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4''
BP背压阀SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4''



SMC减压阀、一般气体用 AK1000T.jpg


减压阀/一般气体用 AK1000T

・从半导体到一般行业均可使用的标准型。
・产品体型小、重量轻。
 质量:0.52kg、高:97.5mm。
・内部容积小,其体积存量少。
・配管扩展品
 可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。

系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AK1000T手动型SUS316压缩接头
Rc, NPT
1/4'',3/8''



SMC膜片阀 高纯度工艺气体用 AP.jpg


膜片阀 高纯度工艺气体用 AP

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
・可作为气体的切断阀使用。
・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。

系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AP气控型SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP小型SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''



SMC膜片阀 一般气体用 AK.jpg


膜片阀 一般气体用 AK

・全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。
・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
・可用于精密洗净。
・降低执行器的高度,实现产品的小型、轻量化(AK3542, 4542)。
・操做通口为M5螺纹(AK3542, 4542)。
・手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化(AK3652, 4652)。
・采用有凹凸的圆形手轮,更便于操作和确认(AK3652, 4652)。

系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AK气控型SUS316卡套式接头
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''
AK手动型SUS316卡套式接头
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''


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