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SMC温控器(循环液温控装置)

发布日期:2021-03-25 浏览次数:48


SMC双温控器、高性能变频型 HRZD.jpg


双温控器/高性能变频型 HRZD

・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间:设置面积减小23%
・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZD-30~90℃9.5kW×2±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液(60%)



SMV标准型温控器 风冷460V规格 HRS200.jpg


标准型温控器 风冷460V规格 HRS200

・3相 AC380~415V(50Hz)、3相 AC460~480V(60Hz)
・可利用冷冻回路的排热加热循环液,无需加热器。
・可设置于室外:IPX4
・体积小、省空间

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS2005〜35℃20.5kW±1.0℃风冷冷冻式清水
去离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)



SMC温控器、变频型 HRSH.jpg


温控器/变频型 HRSH

・三变频实现了出色的节能效果!
・可设置于室外的防滴规格(IPX4)
・最高使用环境温度 45℃
・最低使用环境温度 -20℃(风冷式)
・温度稳定性 ±0.1℃(负载稳定时)
・省空间、重量轻 280kg(25kW型)
・符合CE标识、UL

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRSH5~35℃10kW, 15kW, 20kW
25kW, 28kW
±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)



SMC水冷式深冷器、高性能型 HRW.jpg


水冷式深冷器/高性能型 HRW

・工厂循环水的直接热交换器
・用于在无需冷冻机的温度范围内进行温控
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
・符合UL, SEMI规格及CE标识
・可选择变频型

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRW20~90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW
±0.3℃水冷却式
(无冷冻机)
氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)



SMC温控器、标准型 HRS.jpg


温控器/标准型 HRS

・广泛用于激光加工机/分析装置/LCD制造装置/模具温控等
・紧凑 W377×H615×D500mm、40kg(HRS012/018/024)
・定时运转、液面下降、停电复归、防冻结功能等
・有自我诊断功能
・CE标识、符合UL

※可提供样机试用服务。
 请与您最近的营业所联系。

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS012〜0605~40℃1.3kW, 1.9kW, 2.4kW
3.2kW, 5.1kW, 5.9kW
(60Hz时)
±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)



SMC温控器、变频型 HRSH090.jpg


温控器/变频型 HRSH090

・消耗功率减小53%。
 三变频实现了出色的节能效果!
・冷却能力:9.5kW(风冷)、11.0kW(水冷)
・温度稳定性:±0.1℃
・温度设定范围:5℃〜40℃

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRSH0905~40℃9.5kW±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)



SMC温控器、标准型 HRS090.jpg


温控器/标准型 HRS090

・重量轻、外形紧凑
・冷却能力:9kW
・温度稳定性:±0.5°C
・设定温度范围:5~35°C
・最高使用环境温度:45°C
・电源:三相AC200~230V、AC380~415V

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS0905~35℃9kW(60Hz时)±0.5℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)



SMC温控器、标准型 HRS100、150.jpg


温控器/标准型 HRS100/150

・无需加热器,利用冷冻回路的排热即可对循环液加热
・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
・静音设计:70dB(A)
・室外设置:IPX4
・体积小、省空间

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRS100
HRS150
5〜35℃9.5kW, 14.5kW
(60Hz时)
±1.0℃风冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(15%)



SMC温控器、高性能变频型 HRZ.jpg


温控器/高性能变频型 HRZ

・在HRZ系列的高性能基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等,可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZ-20~90℃
10~60℃
10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)



SMC温控器、高性能型 HRZ.jpg


温控器/高性能型 HRZ

・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识

シリーズ设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZ-20~40℃
20~90℃
-20~90℃
1kW, 2kW
4kW, 8kW
±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)


SMC温控器、机架安装型 HRR.jpg


温控器/机架安装型 HRR

・可在安装于机架的状态下作业
 前面拆装:可从前面设定、调整、维护
・省空间
 19英寸机架上可安装数台
・冷却能力:1.2/1.8/2.4/3.0kW(60Hz)
・温度稳定性:±0.1℃
・全球通用电源:单相AC200~230V(50/60Hz)

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRR10~35℃1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式
清水
乙二醇水溶液(15%)


SMC温控器、基本型 HRSE.jpg


温控器/基本型 HRSE

・三重控制实现了大幅节能!
 消耗功率降低33%
・体积小、重量轻 32kg (AC100V规格)
・无需维护:磁力泵
・静音设计:55dB(A)

系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式
HRSE风冷冷冻式1.2kW, 1.6kW, 2.2kW (60Hz时)±2.0℃风冷冷冻式



SMC温控器、激光用冷冻式双通道型 HRL.jpg


温控器/激光用冷冻式双通道型 HRL

・1台温控器可同时控制2个系统
・省空间/省配线
 设置面积减小22%
 电源系统:只需一个
・节能
 消耗功率降低30%
・采用触摸屏
・电源:三相AC380〜415V(50/60Hz)
    三相AC460~480V(60Hz)

系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRL100
HRL200
HRL300
CH1:15~25℃
CH2:20~40℃
CH1:9kw,19kW,26kW
CH2:1.0kW(最大1.5kW)
CH1:±0.1
CH2:±0.5
风冷冷冻式CH1:清水
CH2:清水、脱离子水(春水)



SMC温控器、耐环境规格 HRS-R.jpg


温控器/耐环境规格 HRS-R

・对应有粉尘、飞沫、水的环境
・电装部分防护等级:IP54
・金属面板
 外装部分为金属面板
 可选择不锈钢面板(可选项)
・可选择大容量液箱(12L)(可选项)
・环境温度:5~45℃

系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRS-R5~40℃1.9kW, 2.9kW, 5kW
(60Hz时)
±0.1℃风冷冷冻式清水
乙二醇水溶液(15%)


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